Elmi Tədqiqatda Xüsusi Şaft Yüksək Dəqiqlikli Xətti Şaftın Tətbiqləri Nələrdir?

Xüsusi mil yüksək dəqiqlikli xətti mildəqiq avtomatlaşdırma avadanlığının və elmi tədqiqat alətlərinin əsas ötürmə komponentidir. Onun dizaynı, istehsalı və performansı adi xətti bələdçilərdən xeyli üstündür.

Əla yerləşdirmə dəqiqliyi və təkrarlanabilirlik: Bu, onun ən əsas xüsusiyyətidir. O, adətən mikron (μm) və ya hətta sub-mikron yerləşdirmə dəqiqliyinə və təkrarlanma qabiliyyətinə malikdir (məsələn, ±1μm və ya daha yüksək). Bu, son dərəcə yüksək dəqiqlik tələb edən vəzifələr üçün vacibdir.

Çox aşağı hərəkət xətası: Düzlük xətası: Hərəkət trayektoriyasının ideal düz xəttdən sapması olduqca kiçikdir. Düzlük xətası: Hərəkət müstəvisinin ideal müstəvidən sapması çox kiçikdir.

Pitch/yaw/roll xətası: Hərəkət zamanı hər bir ox ətrafında oxun fırlanma bucağı xətası ciddi şəkildə idarə olunur. Abbe xətası: Dizayn strukturu optimallaşdırmaqla (məsələn, bələdçi relsinin və ölçmə nöqtəsinin xətti/komplanar dizaynı) və ya kompensasiya alqoritmlərindən istifadə etməklə Abbe xətasının təsirini xeyli azaldır.

Yüksək sərtlik:Xüsusi mil yüksək dəqiqlikli xətti milmöhkəm konstruktiv dizayna malikdir və onun materialları və istehsal prosesləri əladır ki, bu da ona xarici yüklərin (xüsusilə yanal qüvvələr və ya momentlərin) yaratdığı kiçik deformasiyalara qarşı durmağa imkan verir və yük altında hələ də yüksək dəqiqliyi qoruyub saxlaya bilir. Sürtünmə və hamar hərəkət: Aşağı və sabit sürtünmə ilə yüksək performanslı bələdçi üsulları (əvvəlcədən yüklənmiş top bələdçiləri, diyircəkli bələdçilər, hidrostatik bələdçilər və havada üzən bələdçilər kimi) istifadə olunur. Bu, son dərəcə hamar vahid hərəkətə (sürünməsiz) və sürətli start-stop reaksiyasına nail olur. Mükəmməl istilik dayanıqlığı və ətraf mühitə uyğunlaşma: Çox aşağı istilik genişlənmə əmsalları olan materiallardan (məsələn, keramika, xüsusi ərintilər) istifadə edin və ya temperaturun yüksəlməsi və ya dəyişən mühitlərdə dəqiqliyi təmin etmək üçün struktur dizayn/aktiv temperatur nəzarəti vasitəsilə istilik deformasiyasını kompensasiya edin. Bəzi modellər yaxşı çirklənmə əleyhinə imkanlara malikdir (xüsusilə havada üzən, maqnit levitasiyası) və ya vakuum uyğunluğu.

Yüksək ayırdetmə geribildirim sistemi: Adətən inteqrasiya olunmuş ultra yüksək rezolyusiyaya malik xətti barmaqlıq tərəzilər (məsələn, nanometr ayırdetmə qabiliyyəti) və ya qapalı döngə mövqeyi geribildirimi kimi lazer interferometrləri nanometr səviyyəsində nəzarətə nail olmaq üçün əsasdır.

Əsas tətbiq sahələri: Yarımkeçiricilərin istehsalı və yoxlanılması: Litoqrafiya maşını (addım-skan): Gofret mərhələsinin və maska ​​mərhələsinin əsası nanometr səviyyəli dəqiq yerləşdirmədir. Vafli yoxlama avadanlığı: Qüsurların yoxlanılması və ölçülməsi üçün zond stansiyasının və mikroskopik görüntüləmə platformasının dəqiq hərəkəti. Çip qablaşdırma və sınaq: Yüksək dəqiqlikli yerləşdirmə maşınlarının, tel bağlama maşınlarının və sınaq çeşidləmə maşınlarının əsas hərəkət oxu. Dəqiq optika və fotonika: Optik komponentlərin işlənməsi və yoxlanılması: Lazerlə birbaşa yazı, almaz çevirmə dəzgahları və interferometr platformalarının yerləşdirilməsi oxları.

Mikroskop (konfokal, super rezolyusiya): Səhnənin və obyektiv lensin nanoölçülü skan edilməsi və yerləşdirilməsi. Lazer emalı avadanlığı: Mikro emal, markalama, qazma və kəsmə avadanlıqlarında şüa yolunun və ya iş parçasının dəqiq yerləşdirilməsi üçün ox. Yüksək səviyyəli metrologiya və yoxlama: Üç koordinatlı ölçmə maşını: Ölçmə qolunun üçölçülü məkanda yüksək dəqiqliklə hərəkəti.

Profilometr/kobudluq ölçən/yumruluq ölçən: Sensorların dəqiq yerləşdirilməsi və skan edilməsi.

Lazer izləyicisi/interferometr kalibrləmə platforması: Dəqiq istinad hərəkət yolunu təmin edir. Həyat elmi və tibbi avadanlıq: Gen ardıcıllığı: Nümunə mərhələsinin və optik tarama başlığının dəqiq addımlanması və fokuslanması. Hüceyrə manipulyasiyası/mikroinyeksiya avadanlığı: Mikro iynələrin və ya lazer şüalarının dəqiq hədəflənməsi və hərəkəti. Yüksək keyfiyyətli tibbi görüntüləmə avadanlığı: PET/CT/MRT-də detektorların dəqiq yerləşdirmə komponentləri. Qabaqcıl istehsal və elmi tədqiqatlar:

Ultra-dəqiq emal mərkəzi: Dəzgah aləti oxunun qidalanma hərəkəti. FIB/SEM: Fokuslanmış ion şüası/skan edən elektron mikroskopda nümunə mərhələ manipulyasiyası. Materialşünaslıq eksperimental platforması: Kiçik nümunələrin dəqiq yerləşdirilməsi, yüklənməsi və ya ölçülməsi. Kvant texnologiyası eksperimental cihazı: Ekstremal mühitdə (aşağı temperatur, vakuum) ultra dəqiq yerdəyişmə nəzarəti tələb olunur. Aerokosmik və müdafiə: İnertial naviqasiya avadanlığı sınaq dəzgahı, optik hədəfləmə sistemi, dəqiq servo idarəetmə mexanizmi və s.

Xüsusi mil yüksək dəqiqlikli xətti milqabaqcıl texnoloji nailiyyətlərə və istehsal prosesinin təkmilləşdirilməsinə nail olmaq üçün əsas avadanlıqdır. Onun "yüksək dəqiqlik, yüksək sərtlik, yüksək sabitlik və aşağı xəta" xüsusiyyətləri onu hərəkət dəqiqliyinə ciddi tələbləri olan çip istehsalı, dəqiq ölçmə, biotibb, qabaqcıl elmi tədqiqat və s. kimi sahələrdə əvəzedilməz əsas əsas komponentə çevirir və avadanlıqların performansının yuxarı həddini birbaşa müəyyən edir.